离子束修形抛光机床

　　● 规格：1800mm×1800mm×300mm

　　● 主、副双工作位设计;

　　● 等离子体中和器一体化设计，稳定性优于3%;

　　● 小束散角聚焦离子光学系统优化设计;

　　● 离子源具有X、Y、Z、A、B等5个运动轴;

　　● 工艺软件系统：可适应平面、球面、非球面

　　等不同面形光学元件加工