Nebula-LCS5000高精度型面检测修整设备

　　Nebula-LCS5000高精度型面检测修整设备

　　● 规格：3000mm×5500mm×600mm

　　● 在位检测加工一体化设备

　　● 数控研抛模块+气浮轴测量模块双功能头设计

　　● 高刚度双驱龙门移动轴

　　● 高动态大功率直线电机驱动

　　● 检测精度：

　　（0，Φ1.2m）≤3微米

　　（Φ1.2m，Φ3m）≤5微米

　　（Φ3m，Φ5.5m）≤10微米