Nebula--IBF600-离子束机床

　　Nebula- IBF600 离子束机床

　　● 规格：650mm×650mm×200mm

　　● 高效率真空室系统

　　● 五轴联动数控系统

　　● 高动态直线电机驱动

　　● 亚纳米加工精度

　　● 检测结果：

　　面形误差：0.368nmRMS

　　微米尺度粗糙度：0.204nmRMS

　　纳米尺度粗糙度：0.087nmRMS